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2022 年 12 月 29 日,河南科必信信息科技有限公司組織有關(guān)專家,對(duì)河南北星精工技術(shù)有限公司完成的“集成電路基板電子基氮化硅材料的開發(fā)”項(xiàng)目進(jìn)行了科技成果評(píng)價(jià)。評(píng)價(jià)專家組聽取了項(xiàng)目匯報(bào),審查了評(píng)價(jià)材料,經(jīng)咨詢和討論評(píng)價(jià)意見如下:
該項(xiàng)目以國(guó)產(chǎn)多晶硅為原料,添加一定燒結(jié)助劑和稀釋劑,充分混合細(xì)化后,將溶膠凝膠和流延工藝成型有機(jī)結(jié)合,在反應(yīng)燒結(jié)爐內(nèi)進(jìn)行原位高溫氮化燒結(jié)獲得了氮化硅基板,產(chǎn)品導(dǎo)熱率達(dá)到 85W/m.K,抗彎強(qiáng)度達(dá)到 650MPa。項(xiàng)目實(shí)現(xiàn)了關(guān)鍵原料自主可控,推動(dòng)了我國(guó)高強(qiáng)度高導(dǎo)熱氮化硅陶瓷基板產(chǎn)業(yè)化。項(xiàng)目產(chǎn)品經(jīng)北京中科光析化工技術(shù)研究所檢測(cè)所檢測(cè),所檢指標(biāo)符合 GB/T 31703-2105 等標(biāo)準(zhǔn)要求. 經(jīng)標(biāo)陶科技(上海)有限公司、新鄉(xiāng)市大昌精密陶瓷技術(shù)有限公司等客戶應(yīng)用表明,產(chǎn)品質(zhì)量穩(wěn)定,性能優(yōu)良,滿足用戶需要,經(jīng)濟(jì)和社會(huì)效益顯著。專家認(rèn)為:該項(xiàng)目技術(shù)先進(jìn),在氮化硅陶瓷制備方面具有創(chuàng)新性,達(dá)到國(guó)內(nèi)領(lǐng)先水平。