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金剛線切割多晶硅廢料制備Si2N2O的研究

作者:曹會彥,李杰,黃志剛,王文武

作者單位:中鋼集團洛陽耐火材料研究院有限公司,先進耐火材料國家重點實驗室

會議錄名稱:2019年全國耐火原料學(xué)術(shù)交流會

出版年:2019-05-08

起頁:1

止頁:4

總頁數(shù):4

館藏號:

分類號:TQ175

語種:中文

會議名稱:2019年全國耐火原料學(xué)術(shù)交流會

會議地點:中國天津

會議時間:2019-05-08

會議主辦者:耐火材料分會、中鋼集團洛耐院、先進耐火材料國家重點實驗室、中鋼科德孵化器有限公司和耐火材料雜志社

關(guān)鍵詞:金剛線,多晶硅,切割廢料,Si2N2O合成,B4C

內(nèi)容簡介

以金剛線切割多晶硅廢料和 SiO2 微粉為主要原料,分別以 B4C、CaO 和 B4C CaO 為添加劑,在1 420 ℃于氮氣氣氛下保溫 5 h 合成 Si2N2O。借助 XRD 和 SEM 研究了不同添加劑對 Si2N2O 合成率及形貌的影響。結(jié)果表明:B4C、CaO 以及 B4C CaO 均能促進 Si2N2O 的合成。B4C 引入的少量炭可以在反應(yīng)初期有效去除Si表面的 SiO2,在氧化產(chǎn)物 B2O3的液相助燒作用下,α-Si3N4以溶解-沉淀的方式轉(zhuǎn)化為β-Si3N4。CaO 在材料內(nèi)部提供了氧元素,導(dǎo)致 Si 發(fā)生了部分氧化反應(yīng),改變了原始配方 Si3N4 和 SiO2的計量配比,多余的 SiO2 在 CaO 礦化劑的作用下轉(zhuǎn)變?yōu)榉绞ⅰ4C CaO 復(fù)合添加,Si2N2O 合成率最高,約 96%(w),Si3N4和 SiO2 的生成比例最接近實驗設(shè)計,B2O3 作為網(wǎng)絡(luò)形成體抑制了 CaO 的礦化作用。

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