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電磁感應法在多晶硅廢料SiC/Si3N4復合粉體中的應用

作者:孫僑陽,侯星慧,劉朝陽,靳恩東,袁磊,于景坤

作者單位:東北大學冶金學院

會議錄名稱:Conference on Refractories International 2018

出版年:2018-10-17

起頁:1

止頁:5

總頁數:5

館藏號:

分類號:TQ175

語種:中文

會議名稱:Conference on Refractories International 2018

會議地點:中國浙江杭州

會議時間:2018-10-17

會議主辦者:中鋼集團洛陽耐火材料研究院,中國金屬學會耐火材料分會,耐火材料雜志社,先進耐火材料國家重點實驗室

關鍵詞:SiC/Si3N4復合粉體,多晶硅廢料,氯化銨,電磁感應加熱

內容簡介

以多晶硅廢料為主要原料,以氯化銨為添加劑,利用電磁感應加熱法在氮氣氣氛下合成了 SiC/Si3N4復合粉體。研究了氯化銨添加量、加熱時間對 SiC/Si3N4 復合粉體的影響。結果表明:多晶硅廢料的主要成分是 Si 和 SiC,其在高溫下與氮氣反應生成以 α-Si3N4、β-Si3N4和 SiC 為主要成分的粉體。隨著氯化銨含量的增加,合成產物中的纖維狀 α-Si3N4含量增加。且隨加熱時間的增加,復合粉體中的 Si3N4 含量也增加,這主要是因為延長加熱時間能有效促進硅粉的氮化。通過電磁感應法加熱廉價的多晶硅廢料和氯化銨制備 Si3N4/SiC 復合材料,可以有效地降低其生產成本。

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