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碳化硅粉體合成技術研究進展

作者:戴培赟,李曉麗,王泌寶,傅曉慶

作者單位:濰坊工商職業學院

會議錄名稱:2013耐火材料綜合學術會議(第十二屆全國不定形耐火材料學術會議和2013耐火原料學術交流會)

出版年:2013-09-25

起頁:62-65

止頁:

總頁數:4

館藏號:

分類號:TB383.3

語種:中文

會議名稱:2013耐火材料綜合學術會議(第十二屆全國不定形耐火材料學術會議和2013耐火原料學術交流會)

會議地點:中國河南洛陽

會議時間:2013-09-25

會議主辦者:中國金屬學會

關鍵詞:碳化硅;粉體合成;碳熱還原法;溶膠-凝膠法;

內容簡介

高純超細的碳化硅粉體是制備高性能碳化硅器件的重要前提。目前工業生產中普遍采用的碳化硅粉體合成方法是碳熱還原法。隨著膠體化學、大功率激光器和熱等離子體技術的不斷發展,出現了很多新的制備工藝,如溶膠-凝膠法、激光誘導化學氣相沉積法和等離子體法等。本文重點總結了近年來碳化硅粉體合成工藝的最新進展,并討論了存在的主要問題和今后的發展方向。

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